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国家知识产权局信息数据显现，南京盛鑫半导体资料有限公司;南京国盛电子有限公司请求一项名为“一种硅外延设备控制参数在线监测设备及办法”的专利，公开号CN121207258A，请求日期为2025年9月。
专利摘要显现，本发明公开了一种硅外延设备控制参数在线监测设备及办法，监测设备包含沟通电压变送器、沟通电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器、PLC体系；所述沟通电流变送器、沟通电压变送器均与加热灯管衔接，所述温度传感器包含与进水水路衔接的进水温度传感器、与出水水路衔接的出水温度传感器；所述掺杂压力传感器与掺杂管路衔接，载气压力传感器与载气管路衔接；所述PLC体系用于接纳并处理沟通电压变送器、沟通电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器收集数据。本发明经过多种监测设备对外延设备的温度、掺杂、硅源进行全方位监测，完成对外延设备作业状况的多维控制，然后保证外延片出产质量。
天眼查资料显现，南京盛鑫半导体资料有限公司，成立于2021年，坐落南京市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本60000万人民币。经过天眼查大数据分析，南京盛鑫半导体资料有限公司参加招投标项目100次，专利信息29条，此外企业还具有行政许可48个。
南京国盛电子有限公司，成立于2003年，坐落南京市，是一家以从事专业方面技能服务业为主的企业。企业注册资本20779.2934万人民币。经过天眼查大数据分析，南京国盛电子有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目29次，产业线条，此外企业还具有行政许可208个。
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